交叉污染是指外界污染带不可避免的进来，例如人员、空气、物品流动。如何防止交叉污染呢？洁净室或净化车间区内只布置必要的净化设备。

①设计净化车间工程合理布置空间面积：合理布局首先要理顺工艺流程，避免迂回往返。

②提高空气净化工程设备水平：设备的材质、加工精度、密闭程度以及管理制度都与交叉污染有关。

③分设净化车间工程空调净化系统：洁净室的空调净化系统应根据不同的洁净度等级分设。

④严格空气净化工程控制人流物流：洁净室应设专用的人流、物流通道。